微/纳制造科学与技术是研究特征尺度在微米、纳米并具有特定功能器件与系统的设计与制造的一门综合交叉学科，研究内容涉及微/纳器件与系统的设计、加工、测试、封装与装备等。微/纳制造将机械制造、电子、光学等多学科有机地交织在一起，发展出微/纳机电系统（MEMS/NEMS）、微/纳光机电系统（MOEMS/NOMEMS）。

微制造主要指MEMS微加工和机械微加工的制造

MEMS微加工是由微电子技术发展起来的批量微加工技术，主要有硅微加工技术和非硅微加工技术，包括硅干法深刻蚀加工技术、硅表面微加工技术、硅湿干各向异性刻蚀技术、键合技术、LIGA技术、UV_LIGA技术及其封装技术等。MEMS加工材料以硅、金属和塑料等材料的二维或者准三维加工为主。机械微加工是指采用机械加工、特种加工技术、成型技术等传统加工技术形成的微加工技术（micro-machining）。

纳米制造是构建适用于跨尺度（micro/meso/macro）集成的、可提供具有特定功能的产品和服务的纳米尺度维度（一维、二维和三维）的结构、特征、器件和系统的制造过程。

微/纳制造技术在汽车、石化和通信等行业得到广泛应用，目前向环境与安全、医疗与健康等领域迅速扩展，并在新能源装备、半导体照明工程、柔性电子和光电子等信息器件方面具有重要的应用前景。

汽车电子与消费电子产品

目前，我国已成为全球第三大汽车制造国。一亮中档车上应用的传感器达40个左右，豪华汽车则超过200个，其中，MEMS陀螺仪、加速度计、压力传感器和空气流量计等MEMS传感器约占20%。我国是世界上最大的手机、玩具等消费类电子产品的生产国和消费国，微麦克风、射频滤波器、压力计和加速计等MEMS器件已开始大量应用，具有巨大的市场。

民生科技产业

基于微/纳制造技术的高性能、低成本、微小型医疗仪器，视觉假体和人工耳蜗；用于环境与安全监测的微/纳传感器与系统成为重要的发展方向和应用领域。